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半導(dǎo)體行業(yè)超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體行業(yè)超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體工業(yè)需要大量的超純水，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，對超純水水質(zhì)的要求日趨嚴(yán)格。當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)的超純水的水質(zhì)指標(biāo)要求，甚至嚴(yán)格于我國國標(biāo)電子水的最高標(biāo)準(zhǔn)要求，如微粒子，TOC，電阻率，溶解氧等。因此，相比于其他行業(yè)的超純水，需要更加嚴(yán)格的深度處理技術(shù)，如深度處理顆粒物，有機(jī)物，深度脫鹽，深度脫氣技術(shù)等等。其部分參考標(biāo)準(zhǔn)如下：

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ASTM-D5127-2007《美國電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)》

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中國國家電子級超純水規(guī)格GB/T11446-1997

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